合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学机械研磨工艺模型校准验证流程中薄膜厚度引入方法

化学机械研磨工艺模型校准验证流程中薄膜厚度引入方法

731   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:50
一种化学机械研磨工艺模型校准验证流程中薄膜厚度引入方法包括：沟槽刻蚀；测量晶片表面相距与晶片表面齐平的物理或化学可辨薄膜表面之间的距离，作为参考沟槽深度；将所测得的参考沟槽深度减去沟槽深度目标值，由此得到参考沟槽底部与可辨薄膜表面的间距；沉积薄膜；测量沉积的薄膜的上表面相距与可辨薄膜表面之间的距离；将所测得的距离减去参考沟槽底部与可辨薄膜表面的间距，由此得到参考沟槽底部与沉积的薄膜的上表面的间距；对沉积的薄膜进行化学机械研磨，以得到减薄薄膜；而且，测量减薄薄膜的上表面相距与可辨薄膜表面之间的距离；将所测得的距离减去参考沟槽底部与可辨薄膜表面的间距，由此得到参考沟槽底部与减薄薄膜的上表面的间距。
声明：
“化学机械研磨工艺模型校准验证流程中薄膜厚度引入方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：化学品原料反应监视装置
下一个：真空、电化学合为一体的除氧装置

与 “化学机械研磨工艺模型校准验证流程中薄膜厚度引入方法” 相关技术

▪ 燃料改性与烟气返回低NOX烧结技术
▪ 利用烧结除尘灰/高炉瓦斯灰生产氯化钾
▪ 微硅粉制备纳米白炭黑
▪ 利用钢渣制备多孔吸声材料及透水砖
▪ 球形纳米WC-Co复合粉及其硬质合金
▪ 高性能钨铜合金
▪ 金属连续流变挤压技术
▪ 极速金属3D打印技术
▪ 重金属污染治理及生态修复
▪ 机械曲柄摇杆机构扭簧疲劳试验机

相关化学分析设备推荐

多功能土壤重金属检测仪
GC7280A气相色谱仪
FYW-200型摩擦磨损试验机
煤安认证四合一气体检测仪
CTM2000系列弯曲试验机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪燃料改性与烟气返回低NOX烧结技术
▪利用烧结除尘灰/高炉瓦斯灰生产氯化钾
▪微硅粉制备纳米白炭黑
▪利用钢渣制备多孔吸声材料及透水砖
▪球形纳米WC-Co复合粉及其硬质合金
▪高性能钨铜合金
▪金属连续流变挤压技术
▪极速金属3D打印技术
▪重金属污染治理及生态修复
▪机械曲柄摇杆机构扭簧疲劳试验机

报名参会
更多+

2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年07月12日 ~ 14日
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
2024年07月26日 ~ 28日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月08日 ~ 10日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记