本实用新型涉及一种吸取机构、芯片移栽装置及分选机,包括第一连接板、第一吸取件、第二连接板、第二吸取件及第一驱动件,第一吸取件安装于第一连接板上,第二吸取件安装于第二连接板上,第一驱动件分别与第一连接板和第二连接板连接,用于驱动第一连接板与第二连接板相互靠近或远离,以带动第一吸取件及第二吸取件相互靠近或远离;吸取机构还包括:导向件,导向件与第一连接板及第二连接板均连接,以在第一连接板与第二连接板相互靠近或远离时,导向第一连接板和/或第二连接板。第一吸取件与第二吸取件之间的距离可以改变,从而便于吸取不同间距的芯片,给吸取带来了便利。
本实用新型涉及一种芯片移栽装置及分选机,包括检测机构,检测机构具有用于检测芯片的检测位;托盘输送线,用于沿第一方向将用于承载芯片的托盘从远离检测位的一端输送至靠近检测位的一端;吸取机构,用于将处于托盘上的芯片吸取至检测位;及第一输送机构与第二输送机构,第二输送机构与第一输送机构连接,吸取机构与第二输送机构连接,第一输送机构用于驱动第二输送机构带动吸取机构沿第一方向往复运动,第二输送机构用于驱动吸取机构沿与第一方向相交的第二方向往复运动。上述芯片移栽装置及分选机,整个过程均是分选机自动完成,不需要手动操作,自动化程度较高,因此提高了芯片检测的检测效率。
本实用新型涉及芯片测试设备领域,具体提供了一种隔离芯片模组的测试分选机,包括工作台,工作台的顶部表面固定连接有回形架一,且工作台的顶部表面规定连接有矩形块,矩形块的顶部表面固定连接有回形架二,且回形架二的表面开设有限位槽,回形架二的内侧表面固定连接有轴承一,且轴承一的内部固定连接有丝杆一。本实用新型通过启动气缸,气缸推动电动吸盘将模组盘表面的隔离芯片模组吸取,同时启动伺服电机一,伺服电机一带动丝杆一转动,丝杆一带动螺母座一滑动,从而便于将隔离芯片模组放置到侧视主体的表面,启动侧视主体和扫描主体,对隔离芯片模组进行检测扫描,避免了工人的工作强度大,生产效率比较低的问题,自动化程度高。
本实用新型提供一种半导体芯片的扫描电镜装置,包括:电子枪;聚焦组件,设置于电子枪的电子束的发射端;承载平台,位于聚焦组件聚焦处理后的电子束所在的直线路径上,承载平台用以承载晶圆,晶圆上布置多个芯片;检测探头组,包括多个检测探头,检测探头组位于承载平台的一侧,以收集芯片激发的电子信号;以及弧形基座,安装检测探头组,弧形基座的凹部开口朝向承载平台。本实用新型可提高半导体芯片的线宽测量精度。
本实用新型提供了一种LED芯片晶圆分选机,应用于半导体制造MES系统中,包括基座、上料盒固定机构、下料盒固定机构、料盒运输机构、分选机构。基座上设置有至少一个料盒运输通道以及与料盒运输通道连通的上料盒分选区域和下料盒分选区域,上料盒固定机构设置于上料盒分选区域,下料盒固定机构设置于下料盒分选区域,料盒运输机构用于将上料盒固定机构和下料盒固定机构从料盒运输通道分别移动至上料盒分选区域和下料盒分选区域,分选机构设置于基座上,用于根据半导体制造MES系统提供的晶圆信息将上料盒固定机构中存放的不同晶圆分拣至下料盒固定机构中。本实用新型中的LED芯片晶圆分选机能对晶圆自动挑选分类,提高了生产效率,避免了异常混片的产生。