权利要求书： 1.一种LED芯片晶圆分选机，应用于半导体制造MES系统中，其特征在于，所述LED芯片晶圆分选机包括：基座，所述基座上设置有至少一个料盒运输通道以及与所述料盒运输通道连通的上料盒分选区域和下料盒分选区域；
上料盒固定机构，设置于所述上料盒分选区域；
下料盒固定机构，设置于所述下料盒分选区域；
料盒运输机构，用于将所述上料盒固定机构和所述下料盒固定机构从所述料盒运输通道分别移动至所述上料盒分选区域和所述下料盒分选区域；
分选机构，设置于所述基座上，用于根据所述半导体制造MES系统提供的晶圆信息将所述上料盒固定机构中存放的不同晶圆分拣至所述下料盒固定机构中。
2.根据权利要求1所述的LED芯片晶圆分选机，其特征在于，所述料盒运输通道设置于所述基座相对的两侧。
3.根据权利要求1所述的LED芯片晶圆分选机，其特征在于，所述上料盒固定机构和所述下料盒固定机构均包括：底座；
多个固定支架，所述固定支架阵列设置在所述底座上。
4.根据权利要求3所述的LED芯片晶圆分选机，其特征在于，所述料盒运输机构包括：第一导轨座，设置于所述基座上；
第一导轨，固定于所述底座的下方并滑动设置在所述第一导轨座上；
第一驱动件，用于驱动所述第一导轨沿所述第一导轨移动。
5.根据权利要求4所述的LED芯片晶圆分选机，其特征在于，所述驱动件为设置于所述基座上的气缸。
6.根据权利要求1所述的LED芯片晶圆分选机，其特征在于，所述分选机构包括：两个相对设置的第二导轨，所述第二导轨设置于所述基座上并位于所述料盒运输通道上方，所述第二导轨的延伸方向垂直于所述料盒运输通道的延伸方向；
跨梁，其滑动设置在两个所述第二导轨上，所述跨梁的延伸方向平行于所述料盒运输通道的延伸方向；
真空吸盘机械手，滑动设置在所述跨梁上；
驱动装置，用于驱动所述跨梁在所述第二导轨上滑动。
7.根据权利要求6所述的LED芯片晶圆分选机，其特征在于，所述驱动装置包括：第一带轮机构，设置在其中一个所述第二导轨的一端，第一带轮机构上的皮带与所述跨梁的一端连接；
第二带轮机构，设置在另一个所述第二导轨的一端，第二带轮机构上的皮带与所述跨梁的另一端连接；
第二驱动件，设置在所述第二带轮机构上，用于驱动第二带轮机构上的带轮旋转；
同步传动杆，其
声明：
“LED芯片晶圆分选机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：江西兆驰半导体有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
