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氧化铝靶材(Al2O3)

氧化铝靶材(Al2O3)

浏览量 481
规格/型号:暂无
品牌:科泰
应用领域:材料
产地:江西 - 南昌
厂家/供应商:江西科泰新材料有限公司
咨询电话::19170716858(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2026-07-13
级别:待认证

氧化铝靶材(Al2O3)说明介绍

氧化铝靶材(Al2O3)

氧化靶材(Al2O3)基本信息

分子式:Al2O3

纯度:99.99%

CAS号:1344-28-1

摩尔质量:101.96

密度:3.5 g/cm³

熔点:2054ºC

沸点:2980 ℃

溶解性(水):不溶于水,易溶于强碱和强酸

氧化铝靶材(Al2O3)产品概况

氧化铝靶材(Al₂O₃)是以高纯铝粉为原料,经氧化、成型及高温烧结工艺制备的陶瓷材料。

难溶于水的白色固体,无臭、无味、质极硬,易吸潮而不潮解(灼烧过的不吸湿)。

氧化铝是典型的两性氧化物(刚玉是α形属于六方最密堆积,是惰性化合物,微溶于酸碱耐腐蚀 ),能溶于无机酸和碱性溶液中,几乎不溶于水及非极性有机溶剂;

氧化铝靶材(Al2O3)产品应用

半导体器件、光学器件及航空航天高温部件的表面功能化需求,是精密电子、光学工程与极端环境防护领域的核心镀膜材料。

◉ ASML光刻机镜头

193nm增透膜系

基底:合成石英|沉积温度:150℃

性能验证:

- 单面反射损失<0.08%

- 波前畸变<λ/40 @193nm

工艺方案:离子束辅助沉积(IAD)优化致密度

◉ 车规级IGBT模块

引线键合区钝化层

耐湿HTRB测试:150℃/85%RH/1000h无失效

创新结构:Al₂O₃/SiNₓ叠层(界面陷阱密度<10¹⁰ cm⁻²)

量产案例:英飞凌HybridPACK™良率提升6.5%

◉ 航空发动机热障

涡轮叶片粘结层

TGO生长抑制:1300℃/100h氧化增重<0.5mg/cm²

协同机制:Al₂O₃纳米层阻断氧扩散(MCrAlY涂层寿命↑50%)

◉ 柔性OLED封装

水氧阻隔膜

WVTR<5×10⁻⁷ g/m²/day(85℃/85%RH)

弯折寿命>20万次@R=2mm
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