产品详细参数如下:
产品类别 合金靶材
产品简称 AlSiCu
产品全称 Aluminum silicon copper
产品纯度 99.9%,99.95%,99.99%
产品形状 平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶
生产工艺 Vacuum Melting
最大尺寸 L≤2000mm,W≤200mm
铝硅铜合金靶材产品详情:
铝硅
铜合金是选用高纯的铝、硅和铜为原料,经过高真空熔炼得到的,再经过特殊的变形工艺,把铝硅铜合金的晶粒度破碎,得到纯度高,晶粒细小,成分均匀的靶材,主要应用领域于镀膜行业,电子管栅极,真空炉高温构件,X射线靶材等,具有耐化学腐蚀、耐摔性、超耐磨、耐高温、防静电、防火性等特点。铝硅铜由于质量轻、导热性能好,又具有一定强度、硬度以及耐蚀性能,是大规模集成电路必备的膜层材料。