产品详细参数如下:
产品类别 合金靶材
产品简称 FeCoTa
产品全称 Iron Cobalt Tantalum
产品纯度 99.9%,99.95%,99.99%
产品形状 平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶
生产工艺 Vacuum Melting,PM
最大尺寸 L≤200mm,W≤200mm
铁钴钽合金是铁、钴、钽元素组成的合金,靶材形状通常为圆形,其沉积的膜层是垂直磁记录介质重要的软磁层材料。由于该合金材料含有大量的钽,在凝固过程中,会产生偏析,不助于沉积成分均匀的薄膜,我们采用独特的快冷工艺,得到的合金靶材晶粒细小,成分均匀。为了保证材料的纯度和减少夹杂物的数量,采用高纯的稳定坩埚和高真空熔炼技术,确保了材料的纯净度,提高了材料的力学性能,避免了靶材在使用过程的开裂问题。
铁钴钽合金靶材的化学成分: