江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 物理检测设备

> 高精度探针式轮廓仪/台阶仪

高精度探针式轮廓仪/台阶仪

高精度探针式轮廓仪/台阶仪

浏览量 667
规格/型号:D600
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::021-6428 3335(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-07
级别:待认证

高精度探针式轮廓仪/台阶仪说明介绍

D600高精度探针式轮廓仪/台阶仪

D600高精度探针式轮廓仪/台阶仪


一、简介

KLA先进的探针式台阶仪Alpha-StepD-600,可测量纳米级至1200um台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A(1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。

二、功能

设备特点

台阶高度:几纳米至1200μm

低触力:0.03至15mg

视频:500万像素高分辨率彩色摄像头

梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真

圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

紧凑尺寸:小占地面积的台式探针式轮廓仪

软件:用户友好的软件界面

主要应用

台阶高度:2D台阶高度和3D台阶高度

纹理:2D粗糙度和波纹度

形式:2D翘曲和形状

应力:2D薄膜应力

应用领域

大学,研究实验室和研究所

半导体和复合半导体

SIMS:二次离子质谱

LED:发光二较为管

太阳能

MEMS:微电子机械系统

汽车

医疗设备

三、应用

台阶高度

Alpha-StepD-600探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1200μm的2D和3D台阶高度。这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。Alpha-Step系列具有低触力功能,可以测量如光刻胶的软性材料。

纹理:粗糙度和波纹度

Alpha-StepD-600测量2D和3D纹理,量化样品的粗糙度和波纹度。软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分,并计算诸如均方根(RMS)粗糙度之类的参数。

外形:翘曲和形状

Alpha-StepD-600可以测量表面的2D形状或翘曲。这包括对晶圆翘曲的测量,例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中,多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。

应力:2D薄膜应力

Alpha-StepD-600能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。然后通过应用Stoney方程,利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。

点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价
上一个: 高精度自动调心圆度仪 下一个: 数显卡尺

与“高精度探针式轮廓仪/台阶仪”相关的最新需求

有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 金属百科 | 锑的历史与发展 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 小知识 | 金属钼了解一下 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 金属材料在芯片工艺上的作用 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司
上海纳腾仪器有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
检测设备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
021-6428 3335
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.193632s