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自动化高速薄膜厚度测量仪

自动化高速薄膜厚度测量仪

浏览量 605
规格/型号:FR-Scanner
品牌:岱美仪器
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:岱美仪器技术服务(上海)有限公司
咨询电话::4008529632(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-03-17
级别:待认证

自动化高速薄膜厚度测量仪说明介绍

FR-Scanner:自动化高速薄膜厚度测量仪

FR-Scanner:自动化高速薄膜厚度测量仪

简要描述:光学厚度测量仪的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此,在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。

Thetametrisis显示器薄膜测量仪 FR-Scanner 是一种紧凑的台式工具,适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快速和准确测量薄膜特性:厚度,折射率,均匀性,颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。

1、应用

半导体生产制造:(光刻胶, 电介质,光子多层结构, poly-Si, Si, DLC, )

光伏产业

液晶显示

光学薄膜

聚合物

微机电系统和微光机电系统

基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

Thetametrisis显示器薄膜测量仪*的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此,在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。

Thetametrisis显示器薄膜测量仪 光学厚度测量仪通过高速旋转平台和光学探头直线移动扫描晶圆片(极坐标扫描)。通过这种方法,可以在很短的时间内记录具有高重复性的精确反射率数据,这使得FR-Scanner 成为测绘晶圆涂层或其他基片涂层的理想工具。

2、特征

单点分析(不需要预估值)

动态测量

包括光学参数(n和k,颜色) o 为演示保存视频

600 多种的预存材料

离线分析

免费软件更新
FR-Scanner:自动化高速薄膜厚度测量仪
4、测量原理

白光反射光谱(WLRS)是测量从单层薄膜或多层堆叠结构的一个波长范围内光的反射量,入射光垂直于样品表面,由于界面干涉产生的反射光谱被用来计算确定(透明或部分透明或*反射基板上)的薄膜的厚度、光学常数(n和k)等。

1、样片平台可容纳任意形状的样品。450mm平台也可根据要求提供。真正的X-Y扫描也可能通过定制配置;

2、硅基板上的单层SiO2薄膜的厚度值。对于其他薄膜/基质,这些值可能略有不同;

3、15天平均值的标准差平均值。样品:硅晶片上1微米的二氧化硅;

4、2 X (超过15天的日平均值的标准偏差)。样品:硅晶片上1微米的二氧化硅;

5、测量结果与校准的光谱椭偏仪比较;

6、根据材料;

7、测量以8 "晶圆为基准。如有特殊要求,扫描速度可超过1000次测量/每分鐘.
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