设备型号 |
JYZD1-4FR |
工作区尺寸 |
约Φ1000*1300mm(隔热屏内尺寸)均温区710W*550H*1000L |
隔热屏 |
7层钼组合,第一次厚度1mm,后六层>0.6mm |
最高温度 |
1600℃ |
使用温度 |
≤1450℃ |
控温精度 |
≤±1℃ |
温度均匀性 |
≤±3℃ |
极限真空度 |
≤2*10-4Pa(空炉、冷态洁净、干燥除气后工况) |
工作真空度 |
≤5*10-3Pa(工件放气结束状态) |
压升率 |
≤0.3Pa/h |