主要用途:
用于高等院校及科研部门、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。
主要技术指标:
1、极限真空度:5×10-4Pa
2、加热温度:1600°C
3、恒温精度(±1°C),恒温区长100mm,石英加热室ø50mm。
特点:
1、管式炉以硅钼棒为发热元件,美国进口ø50mm刚玉管样品室,高温情况下密封效果好。采用双铂铑热偶测温。
2、智能化程序控制,自动测温和控温。
3、采用质量流量控制器精确控制进气流量,可在多种气氛下工作。操作简单,实用。
4、分子泵真空系统,备有冷阱,无污染真空环境。