简介
DIMENSION ICON 可以实现所有主要的扫描探针成像技术,其测试样品尺寸可达:直径210MM,厚度15MM。温度补偿位置传感器使Z-轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平。对于大样品、90微米扫描范围的系统来说,这种噪音水平超越了所有的开环扫描高分辨率的原子力显微镜。全新的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。
工作原理
DIMENSION ICON用于形貌,粗糙度及性能分析等。获取样品表面形貌信息,表面高度,粗糙度等信息。还可对进行材料的力学,电学,摩擦力等性能表征。 技术参数
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X-Y方向扫描范围90um *90um典型值,最小85um
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Z方向扫描范围10um典型值,在成像及力曲线模式下;最小9.5um
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Z传感器噪音水平(闭环)35pm RMS, 典型成像带宽(达到625Hz)
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电动定位样品台(X-Y轴)180mm*180mm可视区域;单向2um重复性;双向3um重复
选型原则
检测能力:表面高度,粗糙度分析 应用案例
下单网址:www.foftest.com 设备结构
DIMENSION ICON 可以实现所有主要的扫描探针成像技术,其测试样品尺寸可达:直径210MM,厚度15MM。温度补偿位置传感器使Z-轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平。对于大样品、90微米扫描范围的系统来说,这种噪音水平超越了所有的开环扫描高分辨率的原子力显微镜。全新的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。