简介
日立场发射扫描电子显微镜SU8020采用日立技术公司全新开发的冷场电子枪,实现超高分辨率下观察的同时,稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。是利用二次电子和背散射电子信号,通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器。
工作原理
SU8200扫描电子显微镜广泛应用于纳米技术,半导体及电子产品,碳材料,生物及制药、纳米材料、新能源。 技术参数
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分辨率1.1nm/1kV、0.8nm/15kV
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加速电压0.5-30kKV
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放大倍率20-1000000(底片输出)
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马达台5轴
选型原则
检测能力:形貌、成分分析 应用案例
下单网址:www.foftest.com 设备结构
日立场发射扫描电子显微镜SU8020采用日立技术公司全新开发的冷场电子枪,实现超高分辨率下观察的同时,稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。是利用二次电子和背散射电子信号,通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器。