上海有色金属物理检测设备

D300 经济型高精度台阶仪 3196     

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Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的多种变化。

ezAFM-便携式原子力显微镜 3156     

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ezAFM是新设计的精致型原子力显微镜，具有设计紧凑、美观大方、高稳定性、占用空间小等特点，而且软件功能强大、操作简单、用户界面良好，而且价格实惠，性价比较为高。它是理想的实验室用原子力显微镜，广泛应用于高等教育、纳米技术教育和基础研究等领域。产品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等扫描，可以用于电学、磁学等拓展模式，以及液相、真空环境等。

MVI原子力显微镜与可见-红外-拉曼联用系统 3195     

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原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)经过30多年的发展后，从形貌测试及其它常规功能来看已经非常成熟。然而常规的原子力显微镜也越来越无法满足科研人员在纳米尺度下对于样品进行多性质原位测试分析的需求，尤其在化学、光学、电学、热学、力学等领域。 在具备常规原子力显微镜功能的条件下，基于光诱导力显微镜（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技术，结合波长可调的可见-红外光源，从而实现10nm以下空间分辨可见-红外成像与光谱采集，无需远场光学接收器及光谱仪。 此外，VistaScope原子力显微镜还可以与各类拉曼光谱仪

VITA　反应离子刻蚀机（垂直腔室） 1821     

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反应离子刻蚀系统，垂直腔室

SPRm200 表面等离子共振显微镜 2022     

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SPRm200 表面等离子共振显微镜 工作原理基于表面等离子共振（SPR）技术。是将表面等离子体共振技术和光学显微镜巧妙结合为一体的生物传感检测仪。可以同时得到细胞原位明场成像、SPR成像、及SPR动力学曲线定量亲和常数、结合解离常数，它为免标记研究分子相互作用的领域开辟一个崭新的前沿。专门针对细胞膜蛋白和相关分子免标记检测而设计的SPRm200， 使您在不需要从细胞中提取和分离膜蛋白的前提下实时观察细胞结构并同时测量药物和靶点在细胞上的结合过程。还可进行对药物和在天然状态下的膜蛋白之间相互作用的测量，高分辨SPR成像，可

原位纳米压痕仪 2128     

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NanoFlip产品既可以工作在真空环境下进行各种原位力学测试；也可以直接在大气环境下测试样品的硬度、杨氏模量或者其它物理力学性能。 NanoFlip在硬度和杨氏模量测试、连续刚度测试（CSM）、力学性能谱图（Mapping）、纳米动态力学分析（DMA）、划痕和磨损测试、柱压缩等测试中表现出色，可同时将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip还可以进行快速压痕测量，这是在惰性环境（如手套箱）中研究非均相材料的重要手段。

Candela CS920表面缺陷检测仪 1812     

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KLA Candela光学表面缺陷分析仪（OSA）可对半导体及光电子材料进行先进的表面检测。Candela系列既能够检测Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板，又能对SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料进行检测，成为其制程中品质管理及良率改善的有力工具。 Candela系列采用光学表面分析（OSA）专用技术，可同时测量散射强度、形状变化、表面反射率和相位转移，为特征缺陷（DOI）进行自动侦测与分类。OSA检测技术结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与光学形状分析等基本原理，以非破环性方式对Wafer表面的残留异物，表面与表面下缺陷，形状变化和薄膜厚度

电阻率测试仪 1697     

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Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术，并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触（4PP）和非接触（EC）方法。 Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在多种基材上的导电片和薄膜，跨越10个数量级范围电阻率，包括：半导体晶圆基板、玻璃基板、塑料（柔性）基材、PCB图案特征、太阳能电池、平板显示层和图案化特征、金属箔

Desk V 薄膜沉积解决方案 1770     

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Desk V样品制备系统配制用于蒸发和溅射，是一种高生产率的解决方案，可提供卓越、一致和高度可重复的结果。 Desk V镀膜系统提供两种版本：Desk V HP和Desk V TSC。Desk V TSC，是涡轮分子泵溅射镀膜机选项，专为高分辨率显微镜样品设计，适用于氧化和非氧化金属。Desk V磁控溅射装置精确沉积导电镀膜，其热蒸发选项可以沉积薄碳层(使用棒材或纱线)。

D300 经济型高精度台阶仪 1743     

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Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的多种变化。

ezAFM-便携式原子力显微镜 1744     

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ezAFM是新设计的精致型原子力显微镜，具有设计紧凑、美观大方、高稳定性、占用空间小等特点，而且软件功能强大、操作简单、用户界面良好，而且价格实惠，性价比较为高。它是理想的实验室用原子力显微镜，广泛应用于高等教育、纳米技术教育和基础研究等领域。产品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等扫描，可以用于电学、磁学等拓展模式，以及液相、真空环境等。

MVI原子力显微镜与可见-红外-拉曼联用系统 2021     

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在具备常规原子力显微镜功能的条件下，基于光诱导力显微镜（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技术，结合波长可调的可见-红外光源，从而实现10nm以下空间分辨可见-红外成像与光谱采集，无需远场光学接收器及光谱仪。VistaScope原子力显微镜还可以与各类拉曼光谱仪进行联用，组成原子力显微镜与可见-红外-拉曼联用系统，以满足科研人员在纳米尺度下的测试需求。

P7 晶圆探针式轮廓仪/台阶仪 1735     

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KLA是全球半导体在线检测设备市场较大的供应商，在半导体、数据存储、 MEMS 、太阳能、光电子以及其他领域中有着不俗的市占率。 P-7是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统，历经技术积累和不断迭代更新，集合众多技术优势。 P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。从可靠性表现来看， P-7具有较好的测量重复性。UltraLite®传感器具有动态力控制，