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电阻率测试仪

电阻率测试仪

1697
规格/型号:R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50-200-EC
品牌:暂无
应用领域:暂无
产地:上海 - 上海
咨询电话::暂无(请说明信息源自“中冶有色技术网”)
更新时间:2023-06-09
级别:已认证

电阻率测试仪说明介绍

简介 Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术,并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触(4PP)和非接触(EC)方法。 Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在多种基材上的导电片和薄膜,跨越10个数量级范围电阻率,包括:半导体晶圆基板、玻璃基板、塑料(柔性)基材、PCB图案特征、太阳能电池、平板显示层和图案化特征、金属箔 技术参数

技术规格

测量范围:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

测量精度: +/- 1%;

重复度: 小于 0.2%;

样品图中无限量的测量点位,自定义测量Recipe,可线性、矩形、

较为坐标以及自定义等。


应用案例

支持广泛的测量,包括但不限于以下各项:

金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。

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企业认证:
  
所属领域:
材料,检测,其他
企业性质:
服务型
经营范围:
营范围包括分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产(除计量器具)、销售;家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)批发零售;纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务(不得从事诊疗活动、心理咨询);从事货物及技术的进出口业务。
联系电话:
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