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> 物理检测设备
> 电阻率测试仪
技术规格
测量范围:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
测量精度: +/- 1%;
重复度: 小于 0.2%;
样品图中无限量的测量点位,自定义测量Recipe,可线性、矩形、
较为坐标以及自定义等。
支持广泛的测量,包括但不限于以下各项:
金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。
标题:电阻率测试仪