合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 硅片薄膜的生长方法

硅片薄膜的生长方法

1002   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:37:11
本发明公开了一种硅片薄膜的生长方法，包括：测得一控制硅片中央位置与周边位置的薄膜厚度比；利用所述厚度比在硅片上进行第一次薄膜生长；在第一次生长的薄膜上进行光刻胶旋涂；利用硅片周边曝光系统对硅片周边位置进行曝光，经显影后将部分光刻胶去除；通过刻蚀将硅片部分薄膜去除；去除剩余的光刻胶后，利用所述厚度比进行第二次薄膜生长，通过两次薄膜生长使薄膜达到要求的厚度。本发明所述硅片薄膜的生长方法，能使硅片上生长的薄膜其中央位置和周边位置的薄膜厚度一致，减少硅片周边芯片的失效率，提高产品的成品率。
声明：
“硅片薄膜的生长方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：安全壳外与安全壳内、能动与非能动结合的消氢系统及方法
下一个：为处理器中的微操作高速缓存过滤微操作

与 “硅片薄膜的生长方法” 相关技术

▪ 基于高炉温控管理的高炉定量加料装置
▪ 碳化电炉石墨电极优化使用方法
▪ 硅铝合金冶炼炉开炉眼装置
▪ 冶金灌注装置
▪ 耐腐蚀、高塑性的镁合金及其制备方法
▪ 含镍废水效处理物化-膜法技术
▪ 冶炼废水处理药剂法除铊技术
▪ 用于光伏组件制造的光伏电池片焊接装置
▪ 用于处理覆铜陶瓷基板生产含铜废水的综合回收处理装置
▪ 高砷水净化工艺

相关失效分析设备推荐

土壤重金属检测仪-土壤测试仪
甲烷便携式气体探测器
洛氏硬度计
TY-F04化肥成分检测仪(化肥检测仪,复合肥检测仪,尿素检测仪,磷肥检测仪,钾肥检测仪,营养液测试仪）
全项目土壤养分测定仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于高炉温控管理的高炉定量加料装置
▪碳化电炉石墨电极优化使用方法
▪硅铝合金冶炼炉开炉眼装置
▪冶金灌注装置
▪耐腐蚀、高塑性的镁合金及其制备方法
▪含镍废水效处理物化-膜法技术
▪冶炼废水处理药剂法除铊技术
▪用于光伏组件制造的光伏电池片焊接装置
▪用于处理覆铜陶瓷基板生产含铜废水的综合回收处理装置
▪高砷水净化工艺

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
第五届全国异质材料焊接与连接技术交流会
第五届全国异质材料焊接与连接技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
能源材料大会
能源材料大会
2025年04月24日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记