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电子辐照下SiC MOSFET阈值电压恢复方法及装置

831   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:37:11
本发明提供了电子辐照下SiC MOSFET阈值电压恢复方法及装置，属于SiC MOSFET的阈值电压恢复领域，方法包括：将待恢复的SiC MOSFET裸芯片固定，且将待恢复的SiC MOSFET裸芯片的各电极引出；对待恢复的SiCMOSFET裸芯片进行若干次连续电子辐照；电子辐照后，测量待恢复的SiCMOSFET阈值电压，当实际阈值电压与健康阈值电压相比较，若两者相等，则停止对待恢复的SiC MOSFET裸芯片的电子辐照；否则，继续对待恢复的SiC MOSFET裸芯片进行电子辐照；本发明实现了失效SiC MOSFET的回收再利用。
声明：
“电子辐照下SiC MOSFET阈值电压恢复方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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