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光刻设备硅片承载台、组装方法及光刻设备

1184   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:20:07
本发明提供一种光刻设备硅片承载台、及其组装方法和光刻设备，涉及光刻设备的技术领域。其中，光刻设备硅片承载台，包括短行程模块、转接结构和桥接板组件，转接结构与短行程模块固定连接，转接结构与桥接板组件可拆卸地固定连接。该光刻设备硅片承载台，通过将桥接板组件与桥接板组件可拆卸的固定连接，当测量硅片台和曝光硅片台发生碰撞导致桥接板组件发生破坏，或桥接板组件的上表面的疏水涂层因时间或碰撞发生失效时，将转接结构与桥接板组件拆开，更换发生损坏的桥接板组件。
声明：
“光刻设备硅片承载台、组装方法及光刻设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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