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信息处理方法、装置、介质、校正器、模组及设备

1157   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:20:05
本发明属于微电子技术领域，尤其涉及一种信息处理方法、装置、介质、校正器、模组及设备。基于光邻近效应的仿真和校正，通过对工艺参数的预处理，使得相关的测试过程的效率提高、失效率降低，该方法对于光刻工艺窗口较窄的应用场景，有较强的适应性，在预设的焦距能量矩阵范围内，提升了信息获取的效率。
声明：
“信息处理方法、装置、介质、校正器、模组及设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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