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具有自保护功能的硅‑蓝宝石压力传感器敏感结构

987   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:20:04
本发明属于先进传感器技术研究中的传感器优化设计的技术领域，具体涉及一种具有自保护功能的硅‑蓝宝石压力传感器敏感结构。本发明提出了一种具有自保护功能的硅‑蓝宝石压力传感器结构，主要用于解决高压测量时由于压力超出量程范围而造成传感器敏感膜片损坏，进而导致传感器失效的问题。该传感器结构主要包括钛合金壳体、钛合金应变膜片、蓝宝石膜片、单晶硅应变电阻、钛合金保护膜片、金属引线和支架。蓝宝石膜片上设置有单晶硅应变电阻，通过金属引线连接成电桥，并引出到传感器壳体外。本发明采用双膜片结构，可以有效保护压力传感器敏感膜片，避免其在被测压力超出压力量程范围时损坏。
声明：
“具有自保护功能的硅‑蓝宝石压力传感器敏感结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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