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运行稳定的MOCVD加热器

779   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:05:34
本实用新型公开了一种运行稳定的MOCVD加热器，所述上基板表面垂直穿设有多个连接传导杆，各个连接传导杆底端皆固定在下基板上，顶端皆安装有传导支架，所述传导支架穿过隔热板、且顶端支撑有加热部件，所述隔热板通过多个紧固组件与上基板和固定板固定在一起。本实用新型设计结构简易，经实际生产检验相较于传统的加热器加热效率提升了60％；隔热板通过多个新型的紧固组件固定在加热器上，避免了下隔离陶瓷环和上隔离陶瓷环意外受到大的预紧力出现裂痕，进一步避免了受热时破裂失效，保证了设备的整体正常运行，延长了各部件的使用寿命，从而实现了连续生产，有效提升了晶元产品的良品率；随着维护频率的降低也降低了维护成本，减少了维护工作量。
声明：
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