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基于光强可调模组的ALS校准装置及其校准方法

1287   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 09:05:32
本发明公开一种基于光强可调模组的ALS校准装置包括:旋转平台,设有第一通孔和第二通孔;固定座,位于所述旋转平台下方,用于放置所述ALS;驱动装置,其与所述旋转平台固定连接,用于驱动所述旋转平台转动;光源,位于所述旋转平台上方;照度计,其位于所述第一通孔下方;光强可调模组,其固定安装在所述第二通孔中。本发明通过使用光强可调模组调节不同通孔的光强值,实现工装均匀性的自动化校准,节约产线作业员手动点检的工作量;可以避免因为设备老化,造成工装均匀性失效,保证了待校准产品ALS校准结果的准确性;同时保证多台设备不同通孔之间的校准误差<5%,即其均匀性达到95%以上。
声明:
“基于光强可调模组的ALS校准装置及其校准方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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