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SiC PiN双极性退化的筛选方法

771   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:05:32
本发明提供了一种SiC PiN双极性退化的筛选方法，该方法首先选择正向导通特性正常的SiC PiN器件进行双极性退化筛选试验，并在试验前确定合适大小的正向导通电流密度；之后在老练测试试验中对SiC PiN器件的正向导通电压变化趋势进行实时监测，剔除不合格器件，最后比较通过老练测试试验的SiC PiN器件在老炼测试试验前后的正向导通特性，进一步剔除出现双极性退化的SiC PiN器件。本发明公开的SiC PiN双极性退化的筛选方法，首次建立了SiC PiN的双极性退化筛选方法，填补了国内外目前尚无针对SiC PiN双极性退化的筛选方法的空白，利用该方法可以在更短时间内高效地剔除SiC材料中层错等扩展缺陷导致的早期失效，提高器件的长期可靠性。
声明：
“SiC PiN双极性退化的筛选方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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