本发明涉及一种锁相微光显微成像方法及装置,其中方法包括设置激励源参数;采集样品图像;获取强度图像;将强度图像与所述样品图像叠加;输出结果。本发明通过将激励信号通入被测样品的电极中,使被测样品通电后在其失效点周期性地发出光信号,利用显微系统光学放大并由相机采集样品图像,通过数字锁相算法,即利用三角函数的正交性,分离出与激励源同频的像素值随时间周期性变化的幅度大小,进而抑制由于电子元器件的温漂、热噪声以及因环境扰动而导致的测量数据中的不规则波动,以此可以极大提高测量数据的信噪比。
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