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蒸镀控制方法及蒸镀设备

908   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:37
本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀控制方法，包括真空腔体和位于真空腔体内部的坩埚；可移动挡板，所述可移动挡板在坩埚内部与坩埚上表面平行设置，用于盛放蒸镀材料；气压监测装置，所述气压监测装置与所述真空腔体连接；气压传动装置，所述气压传动装置分别与所述气压监测装置和所述可移动挡板连接，用于控制所述可移动挡板在坩埚内部向上或向下移动。通过在蒸镀设备中增设可移动挡板、气压监测装置和气压传动装置，由气压监测装置和气压传动装置通过无缝精密联动控制，来改变可移动挡板在坩埚内的移动方向和移动距离，以维持蒸汽压强不变，达到蒸镀速率恒定的目的，以避免温度变化带来对蒸镀材料的影响，确保蒸镀膜层光特性不失效。
声明：
“蒸镀控制方法及蒸镀设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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