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用于VGF磷化铟单晶生长炉内的炉芯

1014   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:36
本实用新型公开一种用于VGF磷化铟单晶生长炉内的炉芯，所述炉芯从内到外依次包括炉芯杆、高铝水泥层和湿毡层，所述炉芯杆包括圆柱形主杆和两条半圆形侧管，侧管对称设置于主杆两侧，并和主杆一体成型，炉芯杆为石英材质，所述侧管内置测温热电偶，且测温热电偶与炉芯杆活动连接，本实用新型的VGF法磷化铟单晶生长炉芯，设计科学，结构简单，使用方便，炉芯内测温热电偶位置可精确调整，使不同炉芯的测温点固定一致，增加了炉芯内测温的真实准确性，特别地，在测温热电偶失效后，可以自由拆卸测温热电偶进行维修或更换，提高了炉芯使用寿命，节约生产成本。
声明：
“用于VGF磷化铟单晶生长炉内的炉芯” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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