本申请涉及一种GaN功率器件动态应力老化试验方法和系统,包括:获取被测GaN功率器件对应的动态脉冲电压应力数据与温度应力数据;其中,动态脉冲电压应力数据用于周期切换被测GaN功率器件的开关状态;根据动态脉冲电压应力数据与温度应力数据得到试验条件;根据试验条件对被测GaN功率器件进行动态应力老化试验,并采集被测GaN功率器件在应力过程中的电参数;根据电参数与预设失效阈值进行比较,得到试验结果,通过施加更接近被测GaN功率器件实际工况的动态脉冲电压应力,更为真实、严苛的反映GaN功率器件的可靠性,同时在应力施加过程中在线快速监测电参数的真实退化情况,避免了离线测试与器件快速恢复特性导致测不准的难题。
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