本发明提供一种采样信号同步控制系统,包括硅片对准测量模块、以及工件台位置测量模块;其中,所述硅片对准测量模块包括通过外同步总线、内同步总线、以及管理和数据总线连接的对准测量CPU板卡、对准测量同步控制板卡、对准测量数据交换板卡、对准测量并行计算板卡、对准光电解调采集板卡;所述工件台位置测量模块包括通过自定义总线、以及管理总线连接的位置测量CPU板卡、位置测量同步控制板卡、位置测量计数板卡。本发明提供的技术方案可有效解决采样信号同步误差大、同步脉冲触发失效和同步节拍漏拍以及系统可靠性低等问题。
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