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减少熔丝尖刺的修调结构及其制造方法

923   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:35
本发明提供一种减少熔丝尖刺的修调结构，包括半导体衬底；介质层；形成于介质层上的修调熔丝具有一修调电阻、两探针接触垫及分别用于连接修调电阻和探针接触垫的过渡区，过渡区中具有减少修调电阻熔丝尖刺的修调刻开区；形成在修调熔丝和介质层上的钝化层中分别具有修调刻开区处的释放窗口、修调电阻处和探针接触垫处的压点窗口。本发明还提供减少熔丝尖刺的修调结构的制造方法，利用金属的电迁移特性，使修调刻开区可以改善电迁移和温度引起的熔丝尖刺异常现象，并由此减少后道工艺水汽、聚合物残留，解决由此熔丝尖刺导致的封装失效，机械应力问题，减少成品测试和使用中芯片功能失效和封装等可靠性风险。
声明：
“减少熔丝尖刺的修调结构及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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