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接合垫结构

1091   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:33
本发明涉及一种接合垫结构。集成电路晶片的接合垫结构中,有一应力缓冲层介于接合垫层与最上层内连线层的金属层之间,以避免晶圆的探针测试与封装撞击对接合垫所造成的破坏。该应力缓冲层为一导电材料,其杨氏模数、硬度、强度或坚韧度大于最上层内连线层的金属层或该接合垫层的杨氏模数、硬度、强度或坚韧度。为改善粘合与接合的强度,可将应力缓冲层的底部修改为各种不同形式,如嵌于保护层的环状、网状或连锁栅格结构,在应力缓冲层中可以有多个孔洞,其由接合垫层将之填满。本发明所述接合垫结构,提供较佳的机械完整性。可避免应力造成的失效与接垫剥离的问题,而大大增加接合的可靠度。
声明：
“接合垫结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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