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过滤制程数据的方法及其系统

927   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:33
本发明揭露一种过滤制程数据的方法及其系统,用以过滤送到一统计控制模型的制程数据,以提升该控制模型的性能。该数据过滤器从一组制程数据中选取一组样版数据、形成包括该组样版数据以及一组采样数据的一组网格、并计算出该组网格中的一网格的每一点间的一绝对距离以及使用该绝对距离计算出该网格的一点的一最小累加距离。依据该点的该最小累加距离,定义出一整体最佳路径、以及依据该整体最佳路径以及一组参考数据,重新对应该组采样数据以形成一组改变后数据。本发明可将制程数据变成与测量点的一组一致,进而提升制程效能。软件触发器失效问题也可通过消除其他晶圆包含的数据,从异常的晶圆制程中排除。
声明：
“过滤制程数据的方法及其系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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