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基于双F‑P腔的高温剪应力传感器及其制备方法

1385   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:32
本发明属于微机电系统(MEMS)领域，尤其涉及一种微型高温剪应力传感器。该高温剪应力传感器，采用双F‑P腔测量隔板前后压差的方式实现剪应力的测量，解决了采用电学信号测量无法实现高温测量的难题，有效提升了剪应力传感器的耐高温性能。同时，该传感器采用F‑P腔的测量方式，器件结构封闭，有效解决了高焓流场环境下污染造成的传感器失效问题。传感器采用MEMS技术一体化加工完成，结构强度较高，在高速流场环境下不易发生隔板断裂失效。本发明提出的传感器制作工艺简单，可采用碳化硅、蓝宝石等耐高温材料完成传感器制作，进一步提高传感器的耐高温性能。
声明：
“基于双F‑P腔的高温剪应力传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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