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互连线电迁移寿命的确定方法

1015   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:44
本发明提供互连线电迁移寿命的确定方法,包括:选择至少三种不同线宽的互连线,所述至少三种不同线宽的互连线均在同一确定工艺条件下形成;测试每种线宽互连线不同结构的失效时间,利用统计分布得到每种线宽互连线相应的平均失效时间;根据black方程,得到确定温度、确定电流密度时,每种线宽互连线的归一化寿命;利用二次多项式,拟合得到互连线归一化寿命与线宽的二次函数关系式;通过所述二次函数关系式对应的曲线,得到最坏情况下的电迁移寿命,从而得到该最坏情况下的电迁移寿命对应的线宽。采用此发明方法可以精确评估该互连线最坏情况下的电迁移寿命,并为开发金属工艺提供重要信息。
声明：
“互连线电迁移寿命的确定方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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