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用于半导体工艺后段制程的聚合物残留去除方法

1072   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:44
一种在半导体工艺后段制程中用于清除介电层刻蚀后残留在硅片上的聚合物的方法。现有的去胶方法存在聚合物无法彻底清除,造成出货镜检失效率超标的问题。本发明的用于半导体工艺后段制程的聚合物残留去除方法,包括下列步骤:(1)对刻蚀后的硅片进行干法去胶;(2)对经过步骤(1)处理的硅片进行湿法清洗;于步骤(2)之后再作一步干法去胶步骤。利用本发明的聚合物残留去除方法,可使出货镜检失效率降为零,并达到几乎不增加成本而提高良率的有益效果。适用于压点、通孔、接触孔等容易形成聚合物残留的集成电路结构。
声明：
“用于半导体工艺后段制程的聚合物残留去除方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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