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柔性多维力觉压力传感器

865   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:41
本发明公开了一种柔性多维力觉压力传感器,包括柔性衬底;置于柔性衬底上的电极;电极之间的电介质层、分隔层、电极引线、流体通道、溢流水库以及封装层。柔性衬底包括上层柔性衬底和下层柔性衬底,电极分为上下电极和内外侧电极,在上层柔性衬底上涂敷上层电极和内侧电极,在下层柔性衬底上涂敷下层电极和外侧电极,内侧电极和上层电极采用柔性分隔层封装,以防止上下层电极或内外侧电极直接接触而使传感器失效。电极层中粘附有延伸到电极层外部的引线,相邻传感器单元间设有流体通道来连接溢流水库,整个传感器最后采用封装层封装。本发明提出的柔性多维力觉压力传感器阵列具有灵敏度高,重复性好,用途广泛等优点,可以实现对载荷的大小及方向检测。
声明:
“柔性多维力觉压力传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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