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确定连通存储元件中的接触塞的缺陷的方法

1079   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:41
本发明提供一种确定连通存储元件中的接触塞的缺陷的方法，包括：预处理存储元件，露出作为位线的受控金属层，包括失效的第一位线和第二位线；将存储元件按侧面朝上即第一位线处于第二位线上方的方式置于研磨台，实施研磨直至露出第一位线；沉积介电层，覆盖存储元件的顶面部分及其露出第一位线的侧面部分；在介电层中形成通孔，露出第一位线的部分侧面或者顶端电连接第一位线的多个接触塞中的任意一个的部分侧面；在通孔中形成金属接触；将存储元件按另一侧面朝上即第二位线处于第一位线上方的方式置于研磨台，实施研磨直至露出第二位线；去除第二位线；确定缺陷的位置。根据本发明，检测前的预处理过程更为简单，不会破坏所述缺陷。
声明：
“确定连通存储元件中的接触塞的缺陷的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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