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应用于扫描电子显微镜的样品座

655   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:24
本实用新型涉及应用于扫描电子显微镜的样品座，属于半导体芯片制造行业的失效分析领域。该样品座包括底座、设置于底座顶部的金属平台以及位于金属平台的工作面的弹性夹具，芯片样品直接放置在金属平台的工作面，所述弹性夹具压住芯片样品、并将芯片样品固定于金属平台的工作面。本实用新型避免了使用现有技术中的双面导电胶，增加了导电性、改善了SEM图像质量，避免了取样时的破损，减少了污染，节约了成本。
声明：
“应用于扫描电子显微镜的样品座” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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