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找到连接孔顶部开路的方法

687   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:24
本发明公开了一种找到连接孔顶部开路的方法，包括：步骤1、芯片开封，去除绝缘层，暴露导电互连线。步骤2、粘附芯片于基板。步骤3、将芯片研磨至关注的连接孔层次。步骤4、电压衬度分析，找出异常连接孔。步骤5、找出导致连接孔顶部开路的真正机理。采用本发明方法，能在不破坏顶部形貌的情况下，找到开路失效的位置。
声明：
“找到连接孔顶部开路的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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