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蒸镀坩埚

1155   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:21
本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀坩埚，在坩埚本体内腔设置压力传感器和控制装置，无线监测装置分别与压力传感器和控制装置电连接，这样能够根据压力传感器检测到的坩埚本体内的有机气体的压力值来调节控制装置的有机气体进入的气体量，一方面能够避免由于坩埚本体出料量随蒸镀时间的增加而减少引起的镀率波动，从而避免镀率波动引起的所设定的参数表失效等一系列问题，减小生产停止的风险；另一方面，坩埚本体出料量的稳定，有利于目标膜层的均匀性，提高产品的良率。
声明：
“蒸镀坩埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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