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机械手及其获取传输晶圆的方法

747   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:07
本发明涉及半导体设备领域，公开了一种机械手及其获取传输晶圆的方法，晶圆在运输通道内进行运输时，通过水平导轨与第一红外发射端等设置，将晶圆片推至既定位置处，便于后续机械爪直接取出晶圆片，从而避免晶圆在运输通道内传输时对其实时检测相对位置，同时，避免通过调整机械爪的位置以适应不同偏移程度的晶圆进行抓取，费时费力且降低运输效率，机械爪转运晶圆过程中，若夹紧组件失效，导致晶圆发生位置偏移，通过第二红外发射端等设置，在机械爪运转晶圆的过程中，实时对晶圆的相对位置进行检测并实时调整，避免在发生意外偏移后停止机械爪的操作，耽误时间降低机械爪的运转利率。
声明：
“机械手及其获取传输晶圆的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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