合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 失效分析技术

> 铝通孔芯片的去层方法

铝通孔芯片的去层方法

1039   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:57
本发明提供一种通孔芯片的去层方法,该铝通孔芯片的去层方法包括如下步骤:S1:将芯片进行干法刻蚀,露出铝金属;S2:通过湿法刻蚀将铝金属反应掉,使和铝金属紧贴的阻挡层露出;S3:铝金属反应掉后,铝孔也会被反应,因此会在阻挡层上留下与下层金属连接的孔洞,该孔洞就是通孔的位置;S4:采集该层次的图像将金属线的信息和下层孔的信息全部进行采集。该铝通孔芯片的去层方法具有的优点如下:该方法可以很好地解决同层金属线不在同一水平面上,不同位置的金属线有一个高度的落差,且现有的加工方法会导致做失效分析或电路分析时,电路信息丢失的问题。
声明:
“铝通孔芯片的去层方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
失效分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 有色金属:六种战争金属性能详解 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 2025年锂电池行业十大变革性技术 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 )
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.126590s