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基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法

793   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:55
本发明涉及一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法，其步骤为：(1)配置好热溶胶，浓度为：0.1％～2.0％，热溶胶温度为：50～95℃，凝胶化温度：＜40℃；(2)将热溶胶添加于微纳结构上，改变温度形成凝胶层，并通过旋涂或提拉工艺控制凝胶层的厚度及平整度，将大高宽比微纳结构固定在凝胶层中；(3)对已固定的大高宽比微纳结构进行检测或添加夹具；(4)将检测过的样品置于热水浴中，去除微纳结构上的凝胶。本发明通过在微纳结构中形成凝胶来消除溶剂挥发所产生的液体表面张力，从而防止结构失效，将工艺形成的微纳结构有效地固定住，这样可以通过检测大高宽比微纳结构的好坏来进行工艺评价，以此来保证加工工艺的有效性。
声明：
“基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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