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阵列基板及其制作方法和显示装置

1067   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:49
本发明公开了一种阵列基板和显示装置，该阵列基板中，包括形成在源漏电极层的对位标记，并在像素电极和钝化层中对应于对位标记的区域形成检测孔，这样可以通过将电子束照射到检测孔中实现对对位标记进行正常检测。并且，由于在对位标记和公共电极线之间仅包含栅极绝缘层和刻蚀保护层，这样就仅需要一次干法刻蚀就能实现对位标记与公共电极的连接，从而解决了多次干法刻蚀制作同一过孔导致的过孔侧壁坡度不一致问题，减小像素电极在过孔侧壁发生断裂引起检测图形失效的可能性。
声明：
“阵列基板及其制作方法和显示装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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