本申请公开了一种评估冗余阵列是否满足替换要求的方法及装置,可应用于
芯片生产设计技术领域,所述方法包括:获取芯片具体失效单元的地址信息;基于所述地址信息建立晶圆失效地址数据库;利用所述数据库进行数学建模,得到对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量;根据所述对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量,得到冗余阵列个数和晶圆良率之间的关系。本申请基于生产出的芯片实际出现的失效单元的地址信息,利用数学建模进行对冗余阵列进行评估与分析,能够得到准确的冗余阵列个数和晶圆良率之间的关系,从而能够结合对产品良率的需求对冗余阵列个数进行设定,解决了预留多少冗余阵列才能满足主阵列失效单元替换的需求的问题。
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