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带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器芯片

1056   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:43
带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器芯片，涉及的是通过兼容于标准CMOSIC工艺制作微型碳纳米管湿度传感器的技术领域。解决了目前集成化湿度传感器普遍存在着在高湿环境下湿度检测困难及失效问题。它由硅衬底层、二氧化硅外延层、叉指电极结构的金属一层、多个焊盘窗口、多个多晶硅电阻、多个多晶硅电阻连线的金属二层、电源输入接口、钝化层、碳纳米管湿度敏感薄膜构成；碳纳米管湿度敏感薄膜的覆盖工艺为不损害芯片的溅射工艺、丝网印刷工艺或者悬涂工艺；上述所有层结构及多个多晶硅电阻结构都是用CADENCE版图绘制软件，通过标准CMOSIC工艺制作；本发明能在高湿环境下对室温条件下的湿度进行长期稳定、高速准确的检测。
声明：
“带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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