一种抛光垫清理器,包括清理托盘、传动轴、支撑柱及机械臂,其特征在于,所述抛光垫清理器上设置有光电检测装置,所述光电装置包括检测标记、光电传感器及信号识别电路,其中,所述检测标记,包含有一个以上规则分布于清理托盘上的颜色标记,所述颜色标记与清理托盘具有不同的颜色;所述光电传感器,用于检测所述检测标记的位置变化,并将所述检测标记的位置变化转换为电学检测信号;所述信号识别电路,用于接收光电传感器提供的电学检测信号,将所述电学检测信号转换为指示抛光垫清理器当前状态的状态控制信号。本发明的抛光垫清理器通过光电传感器避免了传动部件失效时清理托盘转动情况的检测问题,保证了抛光垫清理器的清理效果。
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