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芯片电性恢复装置

834   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:38
本实用新型提出一种芯片电性恢复装置，包括加热台、UV灯、研磨机以及电浆蚀刻机；芯片放置于所述加热台上，所述加热台对所述芯片进行加热，所述UV灯对所述芯片进行照射，所述芯片经所述加热台与所述UV灯处理后，移送至所述研磨机，所述研磨机对所述芯片表面进行研磨以去除所述芯片表面的氧化层，研磨后的芯片送至所述电浆蚀刻机，所述电浆蚀刻机对所述芯片表面的电触点进行蚀刻以去除电触点表面的钝化层。本实用新型提供的芯片电性恢复装置可以将进行失效分析后芯片表面与内部沉积的电子移除，从而恢复芯片的初始电性状态，该芯片电性恢复装置的设置合理，操作简单，且有效地提高了芯片测试分析的精确度。
声明：
“芯片电性恢复装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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