本发明的目的在于提供一种基板坐标方式,代替人工坐标;包括以下步骤:S1:首先需要将所有样品的sub mapping坐标统计;S2:将样品坐标输入到开发的excel表格中,自动生成我们需要的基板坐标示意图;S3:直接复制坐标,能快速获得基板坐标示意图。并通过该示意图能快速初步的分析测试不良样品可能的失效原因;提高分析效率;本发明的有益效果为:提高工作效率,节约人力。
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