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提高透射电镜图像质量的平面样品制备方法

931   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:37
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种提高透射电镜图像质量的平面样品制备方法。首先通过电性测试方法获取失效点位置，之后根据失效点位置于待测样品正面形成第一开口、于待测样品背面形成第二开口；并继续将待测样品放置于沸腾的胆碱配比溶液中保持5-10min，以彻底去除第二开口底部的硅衬底；然后通过刻蚀工艺去除第一开口下方的绝缘层和第二多晶硅层；最后利用透射电镜图像来分析失效点。通过本方法使失效区域多晶硅透射电镜图像不受非缺陷区域的干扰，得到一个较为均匀清晰的待测样品的透射电镜图像，从而更容易发现缺陷，以进一步提高器件缺陷分析的效率。
声明：
“提高透射电镜图像质量的平面样品制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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