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用于测试分辨率的荧光纳米标准板的制备方法

775   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:35
本案涉及用于测试分辨率的荧光纳米标准板的制备方法，包括：1)将基底层浸入硅烷化试剂中进行硅烷化处理，在基底层表面形成硅烷层；2)将硅烷层浸入荧光染料溶液中进行荧光染料修饰，在硅烷层表面形成荧光染料层；3)采用电子束光刻法对荧光染料层进行等间距曝光，使得未被曝光的部分形成等间距排列的荧光染料线条，而被曝光部分的荧光染料失效，形成惰性层；4)在荧光染料线条和惰性层的表面旋涂透明保护层。本案的制备工艺简单，反应条件温和无污染，工艺重现性好；通过精确调整荧光纳米标准板的结构尺寸，实现荧光线条结构的整齐排列，直观地反应出系统的分辨能力；同时，这种结构的标准板能够实现批量制作，稳定性高，分辨率高。
声明：
“用于测试分辨率的荧光纳米标准板的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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