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叉指状测试结构

992   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:34
本发明公开了一种叉指状测试结构，包括：在第一方向上相对设置的多个金属结构；其中，所述金属结构包括：第一金属线结构；与所述第一金属线结构垂直设置连接的多条第二金属线结构；设置于相邻两条所述第二金属线结构之间的第三金属线结构；所述第三金属线结构为预设数量的短金属线之间按照预设距离进行依次排布，且排布方向垂直于所述第一金属线结构；所述第三金属线结构与所述第一金属线结构以及所述第二金属线结构之间均不连接；在所述第一方向上的所述第一金属线结构之间相互连接；在所述第一方向上的所述第三金属线结构中的相邻的短金属线之间相互连接。该叉指状测试结构可以精确定位失效点的位置。
声明：
“叉指状测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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